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電子廠廢氣處理方法——低溫等離子技術(shù)

返回列表 瀏覽:- 發(fā)布日期:2020-08-27 10:21:48【

電子廠涉及到的行業(yè)很多,不同行業(yè)在工藝上有一定差異,產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異,今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,我們嘗試使用低溫等離子廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣,主要可以分為,半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣,和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。

電子廠廢氣

1、廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法

現(xiàn)在,半導(dǎo)體制造過(guò)程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。

催化燃燒裝置

2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,低溫等離子廢氣處理技術(shù)的凈化原理是:

將普通的220V/380V交流電通過(guò)變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開(kāi)這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無(wú)污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

洗滌塔+低溫等離子處理方案

3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):


  • 放電產(chǎn)生的低溫等離子體中,電子能量高,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
  • 反應(yīng)快,不受氣速限制。
  • 采用防腐蝕材料。
  • 只需用電,操作極為簡(jiǎn)單。
  • 設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速,隨用隨開(kāi),常溫常壓下即能使用。
  • 氣阻小,適用于大風(fēng)量的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。


5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來(lái)源


  • 半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣,主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序
  • 與半導(dǎo)體制造工藝相比,半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡(jiǎn)單,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過(guò)程產(chǎn)生的烘烤廢氣。
  • 含毒氣性廢氣,其來(lái)源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。

電子廠廢氣處理半導(dǎo)體低溫等離子技術(shù),在實(shí)際設(shè)計(jì)中,需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置,來(lái)攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。今天就為大家介紹到這里了,如果您想要了解詳細(xì)的設(shè)計(jì)方案,可以打電話向我們咨詢:17306171723。


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